第八十四章 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件

• 8486302100

  制造平板显示器用化学气相沉积装置(CVD)

• 8486301000

  制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备

• 8486209000

  其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置

• 8486205000

  制造半导体器件或集成电路用离子注入机

• 8486303900

  其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置(制造平板显示器用的机器及装置)

• 8486303100

  制造平板显示器用分步重复光刻机

• 8486302900

  其他制造平板显示器用薄膜沉积设备

• 8486302200

  制造平板显示器用物理气相沉积装置(PVD)

• 8486304900

  其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置

• 8486304100

  制造平板显示器用超声波清洗装置

• 8486402200

  引线键合装置(主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备)

• 8486402100

  塑封机(主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备)

• 8486401000

  主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置(掩膜版(mask),投影掩膜版(reticle))

• 8486309000

  其他制造平板显示器用的机器及装置

• 8486403100

  IC工厂专用的自动搬运机器人

• 8486402900

  其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备

• 8486909100

  带背板的溅射靶材组件

• 8486902000

  引线键合装置用零件或附件(子目848640项下商品用)

• 8486901000

  升降、搬运、装卸机器用零件或附件(子目848640项下商品用,但自动搬运设备用除外)

• 8486403900

  其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备(升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路和平板显示器的装置)

• 8487100000

  船用推进器及桨叶

• 8486909900

  其他品目8486项下商品用零件和附件

• 8487900000

  本章其他编号未列名的机器零件(不具有电气接插件、绝缘体、线圈或其他电气器材特征的)